一、空調(diào)凈化系統(tǒng)

空調(diào)凈化的設(shè)計是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類型、不同用途的廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點，下面來介紹硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。

（1）空調(diào)系統(tǒng)

①切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求，設(shè)風冷熱泵分體柜式空調(diào)機(PAC)來保證房間溫度要求，室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，接風管，采用雙層百葉風口側(cè)送風方式；室外機放置在屋面上。切片室的排風量較大，新風采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋頂空調(diào)機S1-1和S1-2來補充。車間有防塵要求，風冷熱泵分體柜式空調(diào)機回風口處設(shè)中效過濾器(大氣塵計數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm粒子)，同樣屋頂式空調(diào)機需設(shè)兩級過濾器。

②爐室、BSD室僅有溫度控制要求，設(shè)風冷電熱分體柜式空調(diào)機(PAC) 來保證房間溫度要求，室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，接風管，采用方形散流器頂送風方式；室外機放置在屋面上。新風由相鄰潔凈室正壓過來。車間有防塵要求，風冷電熱分體柜式空調(diào)機回風口處設(shè)中效過濾器(大氣塵計數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm粒子)。

③磨片檢查室有溫度和濕度控制要求，設(shè)風冷電熱分體柜式空調(diào)機(PAC)來保證房間溫度要求，室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，接風管，采用方形散流器頂送風方式；室外機放置在屋面上。新風經(jīng)新風機組(MAU-1.2)處理后，接至送風管上送到室內(nèi)，相對濕度由新風機組來保證。新風機組是與凈化系統(tǒng)共用的。車間有防塵要求，風冷電熱分體柜式空調(diào)機回風口處設(shè)中效過濾器(大氣塵計數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm粒子)，新風機組內(nèi)設(shè)粗、中效過濾器。

（2）凈化系統(tǒng)

凈化系統(tǒng)用的新風空調(diào)機組(MAU)和循環(huán)空調(diào)機組(AHU)的冷媒采用6~11C的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經(jīng)潔凈蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。

①CP室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時，CP室工藝設(shè)備用酸量較多，采用全新風空調(diào)機組(MAU-3)+高效過濾器送風口(HEPABOX)的空調(diào)方式。其氣流流程為：新風入口→粗效過濾器→中效過濾器→預(yù)加熱器→表冷器→加熱器→潔凈蒸汽加濕→送風機→送風管→高效過濾器送風口→潔凈區(qū)。

②ML室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時，采用新風機組(MAU)+循環(huán)機組(AHU)+高效過濾器送風口(HEPABOX)的空調(diào)方式。新風接自其它系統(tǒng)共用MAU-1.2新風組。

③CP/CVD 室、LP-CVD室、潔凈包裝間凈化級別為6級，換氣次數(shù)取為50次/小時，采用新風.機組(MAU)+循環(huán)機組(AHU)+高效過濾器送風口(HEPABOX)的空調(diào)方式。新風接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1.2新風組。

④7級、6級的潔凈室采用的氣流形式為頂部高效過濾器送風口送風，房間側(cè)下百葉風口回風。其氣流流程為：新回風混合→中效過濾器→表冷器→送風機→送風管→高效過濾器送風口→潔凈區(qū)→房間側(cè)下百葉回風口→回風管→新回風混合。

⑤洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級別為5級，采用新風機組(MAU)+循環(huán)機組(AHU)+風機過濾器單元(FFU)的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部FFU 送風，房間側(cè)下百葉風口回風。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質(zhì)檢查室對NH₄⁺、SO_x濃度有要求，需在循環(huán)機組(AHU)內(nèi)增設(shè)化學過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風混合→化學過濾器(NH⁺)→化學過濾器(SO_x)→中效過濾器→表冷器→送風機→送風管→送風靜壓箱→風機過濾器單元(FFU)→潔凈區(qū)→房間側(cè)下百葉回風口→回風管→新回風混合。新風接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1.2新風組。

⑥除CP室外的潔凈室所需新風采用2臺新風.機組(MAU-1、2并聯(lián))集中處理，新風集中處理后送至各循環(huán)機組(AHU)。其氣流流程為：新風入口→粗效過濾器→中效過濾器→預(yù)加熱器→表冷器→加熱器→潔凈蒸汽加濕→送風機→送風管→各循環(huán)空調(diào)機組(AHU)。

⑦CP室、ML室、洗凈室用酸量相對較多，CP室、ML室內(nèi)的高效過濾器送風口的擴散板需采用不銹鋼板制作，洗凈室內(nèi)的FFU的網(wǎng)板需采用不銹鋼板制作。

⑧另需注意，品質(zhì)檢查室根據(jù)工藝要求需采用黑色墻板、黑色頂板，相應(yīng)采用黑色回風口，FFU的網(wǎng)板需采用黑色網(wǎng)板。

二、凈化系統(tǒng)的空調(diào)自動控制

新風機組(MAU-1.2)采用變頻風機，由總送風管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入每個風量及正壓控制循環(huán)機組(AHU)的新風管上均設(shè)置電動調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動調(diào)節(jié)閥的開度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風量的變化而變化，電動調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)MAU-1.2的風機頻率，以達到控制目的。

（2）凈化車間的溫濕度控制

凈化生產(chǎn)：車間的濕度是由新風機組MAU-1.2.來保證，控制新風機組送風狀態(tài)點，根據(jù)送風狀態(tài)設(shè)定值來調(diào)節(jié)干蒸汽加濕器的電動執(zhí)行機構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度。露點溫度DPT由檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)整定。凈化生產(chǎn)車間的溫度是由循環(huán)機組AHU來保證的，根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)表冷器回水管上的電動二通閥的開度。

（3）供冷系統(tǒng)控制

冷凍水系統(tǒng)方面采用一級泵，用負荷控制的方法來確定冷水機組及相應(yīng)水泵、冷卻塔的開啟臺數(shù)。根據(jù)設(shè)定供、回水壓差來自動控制供、回水主管之間壓差流量旁通閥。

?

廣東賽特凈化設(shè)備有限公司工程項目服務(wù)范圍：潔凈車間、無塵車間、百級生產(chǎn)車間、食品廠潔凈車間、食品廠無塵車間、GMP車間、藥廠生產(chǎn)車間、實驗室、微生物實驗室、膠囊潔凈車間、膠囊無塵車間、干細胞實驗室、凍干粉針劑潔凈車間、凍干粉針劑無塵車間、電子廠無塵車間、鋰電池車間、鋰電池潔凈車間、鋰電池無塵車間、手術(shù)室、試劑室、膠體金生產(chǎn)車間、膠體金潔凈車間、生物實驗室、PCR實驗室、醫(yī)療器械無塵車間、醫(yī)療器械潔凈車間、藥廠潔凈車間、藥廠GMP車間、電子廠潔凈車間、單晶硅潔凈車間、單晶硅無塵生產(chǎn)車間、保健品潔凈車間、保健品無塵車間、保健品GMP車間、大輸液潔凈車間、針劑潔凈車間、印刷車間、二極管潔凈車間、二極管無塵車間、壓片糖潔凈車間、壓片糖無塵車間、奶粉潔凈車間、奶粉生產(chǎn)車間、奶粉無塵車間、電子材料潔凈車間、電子材料無塵車間、口罩潔凈車間、口罩生產(chǎn)車間、光學材料無塵車間、光學材料潔凈車間、光學材料生產(chǎn)車間。

廣東賽特凈化設(shè)備有限公司聯(lián)系方式：020—38090335 ?38090329